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第三方检测

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洁净室的测试及验收标准

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:
1、测试状态的确定
2、空气中粒子的浓度
3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)
4、风量和换气次数
5、最终过滤器的整体性
6、空气温度和湿度
7、洁净室的密闭性
8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别
洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。
空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。
在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度
ISON级 粒子最大允许浓度Cn颗m3,粒径≥下列值,微米
0.1 0.2 0.3 0.5 1.0 5.0
ISO 1级 10 2 - - - -
ISO 2级 100 24 10 4 - -
ISO 3级 1000 237 102 35 8 -
ISO 4级 10000 2370 1020 352 83 -
ISO 5级 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO 6级 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO 7级 - 352000 83200 2930
ISO 8级 - 3520000 832000 29300
ISO 9级 - 8320000 293000

备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。

洁净度级别表示实例

ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。
ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。
因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。
测定洁净度级别的方法
在检测洁净室的洁净度级别时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。

因此必须满足下列要求

1)确认洁净室的状态与给定的相符;
2)确定给定粒径,洁净室取样点的数量和位置;
3)确定每一取样点的取样数量;
4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间;
5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计;
6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下);
7)整理取得的数据;
8)对结果进行分析;
9)整理方案确定级别应符合上表要求。

气流的检测

在洁净室中的气流:
气流风速(通常是控制单向气流的风速)
气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。
空气(单向气流)的风速和风量
空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。
测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。
应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。
每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,最大和最小值。

气流的均匀性

根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。
平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。

检验过滤器的整体性

最终过滤器(HEPA,ULPA过滤器)是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99。
制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。

温度的检测

在洁净室内采用两种方法控制温度:
 一般控制
 特殊控制
 (一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进

行温度的一般控制。

(一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进

行温度的一般控制。

规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。

在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。

相对湿度的控制

待通风空调系统工作稳定后,相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。

至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳

定,测量的持续时间不得少于6分钟。

洁净实验室技术指标



序号

房间名称

面积

洁净度

对外

压差

温度

湿度

照度

新风

排风

M2

Pa

%RH

Lux

%

1

万级鉴定室1

23

7(万)

+20

20-26

40-70

300

30

2

万级鉴定室2

16

7(万)

+20

20-26

40-70

300

30

3

万级鉴定室3

10.3

7(万)

+20

20-26

40-70

300

30

4

缓冲间

6

7(万)

+15

20-26

40-70

200

30

5

准备间

2.6

0

20-26

40-70

200

30

(2)百级、千级实验室

1

百级实验室2

15.00

5(百)

+20

20-26

40-70

300

30

2

百级实验室1

6.10

5(百)

+20

20-26

40-70

300

30

3

千级实验室2

18.20

6(千)

+15

20-26

40-70

300

30

4

千级实验室1

15.70

6(千)

+15

20-26

40-70

300

30

5

千级洁净

走   廊

11.40

6(千)

+10

20-26

40-70

250

30

6

千级洁净

准备间

 

7(万)

+10

20-26

40-70

250

30

6

更衣间

10.40

7(万)

+10

20-26

 

200

30

格式1(式样)

记录书

      工段,        洁净室取样                                             

取样时期                                                                   

房间状态                                                                   

(空态、静态、动态)

给定洁净度级别                                                          

给定阀径粒径,微米                                                  

粒子的最大允许浓度,粒子/m3                                                

取样量,升                                                                 

取样时间,分钟                                                             

取样点数量r                                                                

1取样点上的取样次数,P                                                     

粒子计数器                                           


取样点位置示意图

3

5

4       

取样点编号

1m3空气中的粒子数或浓度,其粒径为

≥0.5

≥5.0

1

 

 

2

 

 

3

 

 

4

 

 

5

 

 

取样者                                      

                 (签字)                     


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